随着微电子行业制作技术的不断发展，对高纯氢氟酸的要求也越来越高—所需控制的颗粒粒径越来越小，金属及非金属杂质含量越来越低，这就要求生产企业须具有与之相匹配的分析控制与产品检测的能力。
    然而，这些分析控制和产品检测设备价格昂贵，操作技术专业性强且要求较高，一般中小型企业很难承担和管理，因此，最终产品一般都是通过权威测试中心鉴定或直接交给客户试试用与鉴定，以得到客户的认可。
    制备高纯氢氟酸所应用的测试仪器如下：
 （1）电感耦合等离子高频质谱分析仪（ICP-MS）；
 （2）电感耦合等离子原子发射分析仪（IeP-AES）；
 （3）原子吸收分光光度计；
 （4）氧原子发生无焰原子吸收分析仪；
 （5）离子质谱分析仪；
 （6）激光散射液体微粒计数器；
 （7）水表面杂质分析系统；
 （8）原子间力显微镜；
 （9）光学显微镜微粒计数器；
 （10）扫描电子显微镜；
 （11）光学膜厚测定和表面仿形仪；
 （12）表面张力测定仪；
 （13）空气中尘埃微粒测定仪；
 （14）水电阻率测定仪。

    本文由氢氟酸提供。