氟硅酸是一种络合卤酸。与其他由弱酸形成的络合酸一样，中心离子（Si4＋）与弱酸根（F-）形成了较强的配位健。迫使氢离子（H+）移到络离子的外界，变得容易电离，酸性增强。氟硅酸只能存在于水溶液中，符合络合卤酸只能在它们同时生成离子时才能存在的一般现象。可以在低温下对它进行蒸发浓缩。在含25％（质量分数）的氟硅酸溶液中通入微弱空气，并于室温下减压浓缩，可以得到质量分数为40％ 一45％ 的氟硅酸；如用浓硫酸吸收HF和SiF ，常温下可得到质量分数约60％的氟硅酸。
    高于上述质量分数，氟硅酸将分解为HF和SiF 而挥发。在氟硅酸水溶液的蒸汽中HF和SiF 的物质的量比并不按氟硅酸的结构比例n（HF）／n（SiF ）=2逸出，而是随氟硅酸质量分数的升高而降低。氟硅酸的质量分数为10.5％时，逸出的HF和SiF 物质的量比约5.6；质量分数为18.4％时，HF和SiF物质的量比约1.1；质量分数为30.8％ 时，HF和SiF 物质的量比约0.29。
    因此理论上可用蒸馏的方法从氟硅酸中得到氢氟酸。氟硅酸的质量分数为13.3％时，其蒸汽中HF和SiF 物质的量比接近2。
    因此，用于生产氟硅酸钠时，氟硅酸的质量分数都最好控制在13.3％ ，或略低于此质量分数。

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